林本艱的話,如同在平靜的湖面投下了一顆石子,在淵基地總裝大廳裏,漾開了一圈圈無聲的漣漪。
周圍的工程師們,雖然依舊在各自崗位上忙碌,但不少人都不自覺地放慢了手上的動作,豎起了耳朵。
謝建軍沒有立刻回應。他只是靜靜地看着林本艱,目光沉靜而深邃。良久,他緩緩開口,聲音不高,卻清晰地傳入在場每一個人的耳中。
“林博士,寶積電的認可,對我們來說是莫大的榮幸。但戰略合作,不是兒戲。
它需要雙方在技術路線、商業利益,乃至長期願景上,達成高度的共識和互信。
在邁出這一步之前,我想先請教林博士一個問題。”
林本艱微微一怔,隨即正色道:“謝先生請講。”
“寶積電,作爲全球半導體代工的領導者,如何看待未來十年,全球光刻技術格局的演變?”
謝建軍的問題,看似宏大而抽象,卻直指雙方合作最核心的戰略基。
“在您看來,浸沒式光刻,是會像當年的i-line和KrF一樣,成爲一種過渡性的技術節點,還是會像ASML所期望的那樣,成爲統治未來十到十五年,高端光刻市場的主流技術?”
這是一個極具深度的問題。它考驗的不僅僅是林本艱對技術本身的判斷,更是他對整個產業趨勢的宏觀把握和戰略眼光。
林本艱沉默了片刻。他沒有急於回答,而是走到拂曉二代機前,伸出手指,輕輕劃過那光滑的、覆蓋着防塵罩的機身,彷彿在感受這臺機器內部,蘊含的力量和智慧。
然後,他轉過身,目光迎向謝建軍,語氣平靜,卻帶着一種不容置疑的肯定。
“謝先生,我的判斷是,浸沒式光刻,將成爲自193nm ArF乾式光刻以來,全球光刻技術史上最重要的一次革命。
它的意義,不亞於當年從g-line到i-line,從i-line到KrF的跨越。”
他頓了頓,繼續說道:“EUV當然是更長遠的方向,但它的工程化難度和成本,遠超當前大多數人的想象。
在未來十年,甚至更長時間內,浸沒式光刻,將是支撐先進製程持續演進的最核心、最現實的技術路徑。
誰能在這場浸沒式光刻的競賽中,佔據領先地位,誰就能在未來十年的半導體產業格局中,掌握最大的話語權。”
他的目光,變得更加深邃:“寶積電之所以如此關注貴方的進展,正是因爲我們已經清晰地認識到,浸沒式光刻,將是決定我們下一代製程,競爭力的關鍵。
而與掌握核心技術和專利的夥伴,建立深度合作關係,是確保我們在這一關鍵領域,不落後於人的最佳策略。”
林本堅的回答,坦誠而深刻,沒有絲毫的敷衍和保留。他不僅清晰地闡述了,自己對浸沒式光刻技術戰略地位的判斷,也間接解釋了寶積電,爲何如此急切地想要與拂曉團隊建立合作。
謝建軍靜靜地聽完,臉上依然沒有什麼表情變化。但他心中,對林本艱的評價,又高了幾分。
這不僅是一位頂尖的光刻技術專家,更是一位具有卓越戰略眼光的產業思想家。
“林博士的見解,令人佩服。”謝建軍終於開口,語氣中帶上了一絲真誠的讚賞。
“既然我們在技術路線的戰略判斷上,能夠達成如此高度的共識,那麼,我想,我們確實有了進一步探討合作的基礎。”
他看向鄭律師:“鄭老,麻煩您安排一下。明天上午,我們在星火基地的會議室,與林博士一行,進行一次閉門會談。
議題,就定爲面向未來的浸沒式光刻技術合作,框架、路徑與願景。”
鄭律師鄭重地點了點頭說道:“明白,我馬上去安排。”
林本艱的臉上,終於露出瞭如釋重負的笑容。他主動向謝建軍伸出手:“謝先生,期待明天的會談。”
謝建軍握住他的手,用力地握了握:“我也很期待。”
兩隻手,跨越了海峽的阻隔,在魔都這間不起眼的基地裏,緊緊地握在了一起。
這不僅僅是兩個人的握手,更是兩家在各自領域舉足輕重的企業,在歷史的十字路口,做出的一個可能影響未來數十年,全球半導體產業格局的鄭重選擇。
當晚,林本艱拒絕了謝建軍設宴款待的邀請,選擇留在淵基地附近一家普通的招待所休息。
他需要時間來消化,白天所看到的一切,併爲明天的正式會談,做好最充分的準備。
而謝建軍,則在送走林本艱後,獨自一人,再次來到了總裝大廳。
拂曉二代機靜靜地矗立在昏黃的燈光下,如同一尊沉默的鋼鐵巨獸。
他繞着機器,緩緩走了一圈,伸出手,輕輕撫摸着那冰冷的、覆蓋着防塵罩的機身,感受着指尖傳來的、金屬特有的質感。
他知道,從明天開始,一切都將不同了。
與寶積電的合作,將不僅僅是技術上的互補,和商業上的共贏。它將像一根導火索,徹底點燃全球半導體產業格局重構的引信。
ASML、尼康、三星、英特爾......所有的玩家,都將被迫重新審視,自己的戰略和定位。
而他,以及他身後的拂曉團隊,將站在這場波瀾壯闊的產業變革的最前沿。
夜色漸深淵基地的燈光,依然亮着。那光芒,在早春的寒夜中,顯得格外明亮而堅定。
次日清晨,京城,星火基地。
一輛不起眼的考斯特中巴,在晨光中駛入基地大門。車門打開,林本艱和他的助手,在鄭律師的陪同下走了下來。
與昨日在淵基地的震撼和激動不同,經過一夜的沉澱和思考,林本艱的神情已經恢復了,慣常的冷靜和專注。
他穿着一件深灰色的夾克,手裏拎着一個並不沉重的公文包,步履穩健。
星火基地的會議室,佈置簡潔而實用。沒有豪華的裝飾,沒有多餘的擺設,只有一張足以容納二十人的長條形會議桌,幾把舒適的椅子,以及牆上兩塊巨大的白板。
白板上還殘留着一些昨夜討論時留下的、未被完全擦除的公式和草圖,透着一股濃郁的學術和工程氣息。
謝建軍、陳向東、劉欣已經等在會議室裏。看到林本艱進來,三人同時起身,以示尊重。
“林博士,昨晚休息得可好?”謝建軍迎上前去,與林本堅握手。
“非常好,謝謝謝先生關心。”林本艱微笑着回應:“魔都郊外的夜晚,比新竹要安靜得多,睡得很踏實。”
幾句寒暄過後,雙方在會議桌兩側落座。沒有過多的客套,謝建軍直接切入正題:
“林博士,昨天您在淵基地,已經對我們的技術現狀有了直觀的瞭解。
今天,我們想向您介紹一下,我們對未來三到五年,浸沒式光刻技術發展路線的規劃和設想。
希望這些想法,能夠爲雙方的合作,提供一個更加清晰的框架。”
他示意了一下陳向東。陳向東會意,打開筆記本電腦,連接上投影儀。一幅清晰的、標註着詳細時間節點和技術指標的,浸沒式光刻技術路線圖,出現在了大屏幕上。
“這是我們內部代號拂曉項目的技術發展規劃。”陳向東站起身,走到屏幕前,開始講解道。
“我們的目標是:在1999年底之前,完成90納米節點浸沒式光刻機的,工程樣機開發和內部驗證。
在2001年,推出可用於量產線的第一代商用機型,目標分辨率65納米。
在2003年,推出第二代商用機型,目標分辨率45納米,並初步具備支持下一代,EUV光刻技術過渡的混合架構能力。”
他一邊講解,一邊用激光筆在路線圖的關鍵節點上圈點着。每一個目標,都伴隨着具體的技術指標、關鍵裏程碑和資源配置計劃。
整個路線圖,邏輯清晰,論證嚴謹,既有雄心勃勃的目標,也有腳踏實地的路徑規劃。
林本艱聽得很認真,不時在本子上記錄着什麼。當陳向東講到45納米節點的技術挑戰和應對策略時,他微微皺起眉頭,插話問道。
“陳總,45納米節點,對浸沒式光刻的數值孔徑和套刻精度,將提出極其苛刻的要求。
貴方計劃如何解決高折射率浸沒液體的開發,和超大數值孔徑投影物鏡的製造難題?這兩個方向,即使在全球範圍內,也屬於尚未被攻克的無人區。”
陳向東微微一笑,彷彿早就預料到林本艱會問這個問題。他切換了一張幻燈片,屏幕上出現了一張複雜的分子結構圖和一串長長的化學式。
“關於高折射率浸沒液體,我們與國內一所頂尖高校的化學系合作,已經合成出幾種具有潛力的新型有機溶劑,其折射率在193nm波長下,可以達到1.65以上,遠高於水的1.44。
目前正在進行毒理學和兼容性測試。如果進展順利,有望在明年年中,提供可供工程驗證的樣品。”
他又切換了一張幻燈片,這次顯示的是一組光學仿真數據,和一種新穎的、由多組非球面鏡片和自由曲面鏡片,組合而成的光學結構示意圖。
“至於超大數值孔徑投影物鏡,我們正在探索一種,基於分區式和自適應光學相結合的創新設計思路。
通過將巨大的物鏡分解爲多個較小的、可獨立調節的子鏡組,並引入主動變形鏡技術,來實時補償動態像差,我們有望在可製造的範圍內,將數值孔徑提升到1.2甚至更高。”
林本堅的眼中,閃過一絲難以掩飾的驚訝和讚賞。
他沒想到,對方不僅在工程實現上走在了前列,在對未來更長遠技術挑戰的預研和佈局上,也遠遠走在了他的前面。
這些關於高折射率液體,和超大數值孔徑物鏡的研究思路,即使放在ASML或寶積電的內部技術論壇上,也屬於最前沿、最具探索性的方向。
他沉默了片刻,然後緩緩放下手中的筆,抬起頭,目光直視謝建軍:“謝先生,貴方的技術路線規劃和預研深度,令我深感敬佩。
基於這樣的技術實力和戰略眼光,我想,寶積電與貴方之間的合作,不應該僅僅停留在供應商-客戶,或者專利授權的層面。”
他頓了頓,鄭重地說道:“我建議,我們共同成立一個聯合技術委員會,由雙方最頂尖的專家組成,定期交流技術進展,共同制定下一代浸沒式光刻技術的標準和規範。
同時,寶積電願意率先在自己的先進產線上,引入貴方的浸沒式光刻原型機,進行工藝驗證和聯合調試,爲未來的大規模商用積累經驗。”
“如果這個合作模式能夠順利推進,寶積電願意在未來,將貴方列爲優先供應商,並在全球範圍內,協助貴方推廣浸沒式光刻技術。”
林本堅提出的合作框架,比謝建軍預期的還要深入和全面。
它不僅涵蓋了技術研發層面的深度合作,還包括了市場推廣,和產業生態構建的長期承諾。
這表明,寶積電是真心實意地,想要與拂曉團隊,建立一種超越普通商業關係的、戰略性的合作夥伴關係。
謝建軍沒有立刻回答。他沉默了片刻,然後緩緩站起身,向林本艱伸出了手:
“林博士,感謝寶積電的信任和誠意。未名-軒轅,願意與寶積電一道,共同開創浸沒式光刻技術的新時代。”
兩隻手,再次緊緊地握在了一起。
這一次,握手的時間,比昨天在淵基地時,更長,也更用力。
窗外,京城的春日陽光,穿透雲層,灑在星火基地的草坪上,一片生機盎然。
而在會議室裏,一項足以影響未來數十年,全球半導體產業格局的合作框架,正在悄然成形。
1998年3月,荷蘭埃因霍溫,ASML總部。
一封來自寶積電的,措辭謹慎而正式的公函,擺在了CEO的辦公桌上。
公函的核心內容是,寶積電經過審慎評估,決定在下一代先進製程光刻設備的選型上,將同步推進與ASML TWINSCAN系列,以及另一家新興技術供應商的技術驗證合作。
以確保寶積電能夠接觸到最廣泛、最具競爭力的技術方案,爲其全球客戶提供最優的服務。
公函中沒有指名道姓,那家新興技術供應商是誰,但ASML的高層們心知肚明。
那個來自東方的幽靈,不僅成功地讓ASML在談判桌上無功而返,更在短短幾個月內,就撬動了寶積電這個全球半導體代工的定海神針。
CEO坐在辦公桌後,臉色鐵青。他面前那杯早已涼透的咖啡,一口未動。
他沉默了很久,才緩緩開口,聲音帶着一種壓抑不住的怒意和挫敗感:
“我們......還是低估了他們。
他猛地站起身,走到窗前,用力推開窗戶,讓早春寒冷的空氣,猛地灌入溫暖的辦公室。
他需要這股冷意,來讓自己發熱的頭腦,冷靜下來。
“範德文,立刻啓動暗流計劃的第二階段。”他沒有回頭,聲音冰冷而決絕。
“動用我們一切可以動用的資源,無論合法還是灰色地帶,給我徹底查清那個幽靈的背景、資金來源、技術團隊構成,以及......他們與寶積電之間,到底達成了什麼樣的協議。”
“同時,”他轉過身,目光如同鷹隼般銳利:“通知我們在華盛頓的遊說團隊。
是時候,讓美國政府意識到,在高端光刻機領域,一個由龍國政府支持的,具有強大技術實力,和侵略性市場策略的競爭者,正在崛起。
這不僅僅是ASML一家的挑戰,這是對整個西方半導體產業生態的威脅。”
“我們需要政府的介入,需要出口管制、投資審查、甚至是技術封鎖......所有可能的手段,都不能排除。”
範德文CTO心中一凜。他明白,CEO這是要準備掀桌子了。將商業競爭上升到地緣政治層面,是一把雙刃劍,可能有效遏制對手,但也可能引發不可控的連鎖反應。
但在目前的情況下,這似乎是ASML能夠打出的最後,也是最重的一張牌。
“我明白了。”範德文鄭重地點了點頭:“我馬上去安排。’
幾乎在同一時間,日本東京,尼康公司總部。
一份關於寶積電與那家神祕東方實體,可能達成合作框架的情報摘要,同樣擺在了尼康高層的案頭。
與ASML的憤怒和焦慮不同,尼康的反應,更多的是一種混合着幸災樂禍,和深切忌憚的複雜心態。
“呵呵,ASML這回,可是踢到鐵板了。”一位高管忍不住幸災樂禍地笑道。
“他們一直想在浸沒式路線上抄近道,結果被人家用專利堵了個嚴嚴實實。
現在連寶積電都開始兩頭下注了,看他們怎麼收場。”
“別高興得太早。”社長冷冷地潑了一盆冷水:“ASML倒黴,不代表我們就能好過。那個幽靈能搞定寶積電,說明他們的技術實力和商業運作能力,都遠非等閒之輩。
等他們消化了寶積電的訂單和技術反饋,下一個目標,很可能就是我們。”
他站起身,走到牆上掛着的那幅巨大的,全球光刻機市場份額分佈圖前,目光落在代表龍國市場的那個,幾乎可以忽略不計的微小色塊上,沉默了片刻。
“157nm路線,必須加速。”他斬釘截鐵地說道:“這是我們唯一的,也是最後的,彎道超車的機會。
集中所有資源,不惜一切代價,在明年年底之前,必須推出可量產的157nm光刻機。
“另外,”他頓了頓,目光變得更加深邃:“派人,去一趟魔都。不是去談判,是去學習。
以技術交流的名義,儘可能地接觸那個幽靈的技術團隊,摸清他們的底細和弱點。”
一場圍繞着浸沒式光刻技術、波及全球光刻機市場主要玩家的博弈,正在以前所未有的烈度,全面升級。
而魔都淵基地那臺靜靜矗立的拂曉,如同投入平靜湖面的一塊巨石,它所激起的漣漪,正在一圈一圈地,擴散向整個世界的半導體產業版圖。